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X射线光电子能谱仪
2019-03-25 08:59   审核人:

仪器型号:ESCALAB 250Xi

制造厂商:美国ThermoFisher Scientific    


主要技术指标:

1. 极限能量分辨率为0.43eV;          2. 分析室真空度优于5×10-10mbar;

3. 能量分析范围为0-5000eV;          4. 通过能范围为1-400eV。

仪器功能:

(1)固体样品的表面成分分析、化学态分析,取样深度约为1-10nm;

(2)材料中元素的深度分析,角分辨方式,氩离子与氩团簇离子刻蚀方式;

(3)可进行样品的原位处理,如原位加热、冷却、断裂。

仪器附件:离子散射谱(ISS),反射电子能量损失谱(REELS),单色化XPS(Al靶),双阳极(Mg/Al靶),氩离子团簇离子枪,加热/冷却台,样品断裂台。

应用领域:

  XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器,原则上能分析除H、He以外的所有元素,尤其适用于分析材料表面元素的化学价等,检测灵敏度0. 1%~1%原子浓度比。

XPS适于分析固体样品,形状不限,粉末样品也可以分析,但以表面光滑的片状为好,如纳米薄膜材料,催化剂,微电子材料,高分子材料,生物材料,金属材料,半导体材料,无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施,予以清洁,安装时应使样品与样品托有良好的电接触,具有放射性、挥发性的样品不宜分析。

送样须知:

1. 材料必须是无放射性、无毒性、无挥发性物质(如单质Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te, Hg等);

2. 材料必须是干燥固体,粉末需干燥,磁性样品(可以测试)请送样时告知;

3. 粉末测试需要量一般不小于0.2 毫升;固体样品尺寸0.5×1×1cm,尺寸过大请自行加工;

4. 校内样品一般不提供数据分析处理,样品数量大于5个需现场自己制样。

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